Instrument Information

儀器資訊

預約
  • 校內單位 NT:1,000/hour
  • 校外學術單位 NT:2,000/hour
  • 校外非學術單位 NT:3,000/hour
  • 中文名稱: 高效率超臨界流體蝕刻系統
  • 英文名稱 High Efficiency Supercritical Fluid Etching System
  • 廠牌及型號 MIRDC
  • 重要規格 Max. pressure/temp.: 20MPa/90C
  • 廠商連結
  • 開放時段
  • 系所單位 電機工程學系
  • 放置地點 115室/工學院/高雄大學
  • 服務項目 高深寬比樣品蝕刻
  • 儀器管理員 馮瑞陽
  • 聯絡電話 0918136069
  • Email djyfeng@gmail.com
  • 其他 可以自行操作
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