Instrument Information

儀器資訊

預約
  • 校內單位 500元/小時 (不含鍍料)
  • 校外學術單位 500元/小時 (不含鍍料)
  • 校外非學術單位 500元/小時 (不含鍍料)
  • 中文名稱: 熱蒸鍍暨濺鍍系統
  • 英文名稱 thermal evaporation and sputtering system
  • 廠牌及型號 Home-made
  • 重要規格 5X10-6 Torr, 2支濺鍍槍(DC and RF power), 3組熱蒸鍍源
  • 廠商連結 http://ap.nuk.edu.tw/files/11-1000-136-1.php
  • 開放時段
  • 系所單位 應用物理學系
  • 放置地點 理學院 518-1 實驗室
  • 服務項目 沉積BiFeO3,ZnO,ITO,In2O3,Bi2O3,Co,Fe,Ag,Cu,Au,Ti,Pd,CoFe,NiFe等薄膜
  • 儀器管理員 余進忠
  • 聯絡電話 07-5918879
  • Email yucc@nuk.edu.tw
  • 其他 可以自行操作
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