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儀器資訊
預約
校內單位
750 元 / 小時
校外學術單位
1000 元 / 小時
校外非學術單位
1200 元 / 小時
中文名稱:
膜厚掃瞄機
英文名稱
Surface Profiler
廠牌及型號
Tencor Alpha Step 500
重要規格
Scan Length 10mm~2mm Sample Rate 500、100 or 200Hz
廠商連結
開放時段
系所單位
電機工程學系
放置地點
工學院506-1室
服務項目
半導體元件薄膜厚度及表面輪廓量測
儀器管理員
施明昌
聯絡電話
07-5919237
Email
kncpwkb@nuk.edu.tw
其他
可以自行操作
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