Instrument Information

儀器資訊

預約
  • 校內單位 750 元 / 小時
  • 校外學術單位 1000 元 / 小時
  • 校外非學術單位 1200 元 / 小時
  • 中文名稱: 微影曝光系統
  • 英文名稱 Mask Aligner
  • 廠牌及型號 Karl Suss
  • 重要規格 1um解析度、接觸式或近接式曝光、2.5吋晶圓尺寸
  • 廠商連結
  • 開放時段
  • 系所單位 電機工程學系
  • 放置地點 工學院506-1室
  • 服務項目 微影光阻曝光
  • 儀器管理員 施明昌
  • 聯絡電話 07-5919237
  • Email kncpwkb@nuk.edu.tw
  • 其他 不可自行操作
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