Instrument Information

儀器資訊

預約
  • 校內單位 980元/小時(SEM);
    980元/小時(EDS)；
    450元/次(鍍金)
  • 校外學術單位 1300元/小時(SEM);
    1300元/小時(EDS)；
    450元/次(鍍金)
  • 校外非學術單位 2200元/小時(SEM);
    2200元/小時(EDS)；
    750元/次(鍍金)
  • 中文名稱: 冷場發射掃描式電子顯微鏡
  • 英文名稱 Cold Field Emission Scanning Electron Microscope
  • 廠牌及型號 Hitachi / S-4800 (II)
  • 重要規格 1. 解析度:
    (a)≦1.0 nm(加速電壓:15 Kv,工作距離≧4 mm時)
    (b)≦1.4 nm(加速電壓:1 Kv,工作距離≧1.5 mm時)
    2. 放大倍率: 20~ 800,000倍
    3. 加速電壓: 0.1KV ~ 30KV
    4. 電流: ~pA~ 200nA
    5. 電子源: 冷場發射電子源
    6. 試片規格: 直徑<150 mm 高度<10 mm
    7. 試片載台: 試片移動範圍如下: X-axis: 0~110 mm; Y-axis:0~110 mm; Z axis: 1.5 mm~ 40mm; Rotation: 0~ 360度 Tilt: > -5 ~ +70
    主要附件：
    　1.背向散射電子偵測器(YAG)
    　2.穿透電子偵測器(STEM)
    　3.濺鍍機(Hitachi E-1045) 4.EDS(廠牌-德國Bruker)，Resolution：127eV
  • 廠商連結 益弘儀器股份有限公司
  • 開放時段 請與管理人 陳先生連繫 hsin5100@gmail.com , 0971-268508
  • 系所單位 化學工程及材料工程學系
  • 放置地點 綜合大樓110室
  • 服務項目 1. SEM/BEI：材料之微結構觀察及凹凸表面形貌觀察。
    2. SEM/EDS：試片元素的定性、半定量、線掃描、面掃描分析。
    3. SEM/STEM (附加穿透電子偵測器)：材料之穿透式高低倍的明、暗視野影像。
    4. 濺鍍機：表面前處理，目前可鍍白金。

    註：取樣應注意事項
    1.試片取樣直徑最大不超過35 mm，最大高度8 mm，試片請自行前處理(本設備樣品載台約3.5cm)。
    2.如為非導體，請務必作固定及蒸鍍處理。
    3.具強磁性、磁性(如含有鐵、鈷、鎳等成分)或易被電磁透鏡吸引的粉末型樣品或材料，禁止進入FE-SEM腔體。
    4. 試片含毒性、腐蝕性、揮發性及高分子、生物試片等，禁止進入FE-SEM腔體。
    5.試片在電子束照射下會分解、釋放氣體或成為液體之樣品，禁止進入FE-SEM腔體。
    6.若含有上述成分不告知而導致儀器受損者，送測者須負起儀器修復責任。
    7.STEM試片處理方式與TEM試片相同，直徑3mm圓盤狀，須已薄化穿孔並可導電之固體材料。
    8.如對樣品是否能進入拍攝有任何疑問者，請務必先與技術人員討論。
  • 儀器管理員 王瑞琪
  • 聯絡電話
  • Email rcwang@nuk.edu.tw
  • 其他 不可自行操作
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